(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，净化车间标准，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，济南净化车间，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
1、送风洁净度
要保证送风洁净度，安装的气密性要好，液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上，净化车间工程，负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态。
洁净车间湿度的测试：湿度测试可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同，应一同测试。
温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力，温度测试应在洁净车间进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。洁净车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。
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